Mipako ya uvukizi: Kwa kupasha joto na kuyeyusha dutu fulani ili kuiweka kwenye uso mgumu, inaitwa mipako ya uvukizi.Njia hii ilipendekezwa kwanza na M. Faraday mwaka wa 1857, na imekuwa mojawapo ya
mbinu za kawaida za mipako katika nyakati za kisasa.Muundo wa vifaa vya mipako ya uvukizi umeonyeshwa kwenye Mchoro 1.
Dutu zilizovukizwa kama vile metali, misombo, n.k. huwekwa kwenye chombo au kuning'inizwa kwenye waya wa moto kama chanzo cha uvukizi, na sehemu ya kufanyia kazi ya kuwekwa sahani, kama vile chuma, kauri, plastiki na substrates nyingine, huwekwa mbele ya chombo. sulubu.Baada ya mfumo kuhamishwa kwa utupu wa juu, crucible ni joto ili kuyeyusha yaliyomo.Atomi au molekuli za dutu iliyoyeyuka huwekwa kwenye uso wa substrate kwa njia iliyofupishwa.Unene wa filamu unaweza kuanzia mamia ya angstroms hadi microns kadhaa.Unene wa filamu imedhamiriwa na kiwango cha uvukizi na wakati wa chanzo cha uvukizi (au kiasi cha upakiaji), na inahusiana na umbali kati ya chanzo na substrate.Kwa mipako ya eneo kubwa, substrate inayozunguka au vyanzo vingi vya uvukizi hutumiwa mara nyingi ili kuhakikisha usawa wa unene wa filamu.Umbali kutoka kwa chanzo cha uvukizi hadi kwenye substrate unapaswa kuwa chini ya wastani wa njia isiyolipishwa ya molekuli za mvuke katika gesi iliyobaki ili kuzuia mgongano wa molekuli za mvuke na molekuli za gesi zilizobaki kutokana na kusababisha athari za kemikali.Nishati ya kinetic ya wastani ya molekuli za mvuke ni takriban 0.1 hadi 0.2 volts elektroni.
Kuna aina tatu za vyanzo vya uvukizi.
①Chanzo cha joto kinachostahimili upinzani: Tumia metali zinazokinza kama vile tungsten na tantalum kutengeneza karatasi ya mashua au nyuzi, na weka mkondo wa umeme ili kupasha joto dutu inayoyeyuka juu yake au kwenye crucible (Mchoro wa 1 [Mchoro wa mpangilio wa vifaa vya mipako ya uvukizi] mipako ya utupu) Kustahimili kupasha joto. chanzo hutumika zaidi kuyeyusha nyenzo kama vile Cd, Pb, Ag, Al, Cu, Cr, Au, Ni;
②Chanzo cha kupokanzwa cha juu-frequency introduktionsutbildning: kutumia high-frequency introduktionsutbildning sasa juu ya joto crucible na uvukizi nyenzo;
③Chanzo cha kupokanzwa boriti ya elektroni: kinachotumika Kwa nyenzo zilizo na halijoto ya juu ya uvukizi (isiyopungua chini ya 2000 [618-1]), nyenzo hiyo huvukizwa kwa kurusha nyenzo kwa mihimili ya elektroni.
Ikilinganishwa na mbinu zingine za uwekaji wa utupu, mipako ya uvukizi ina kiwango cha juu cha uwekaji, na inaweza kufunikwa na filamu za msingi na zisizo na kuoza kwa joto.
Ili kuweka filamu ya fuwele ya ubora wa juu, epitaksi ya boriti ya molekuli inaweza kutumika.Kifaa cha epitaksi ya boriti ya molekuli kwa ajili ya kukuza safu moja ya fuwele ya GaAlAs inaonyeshwa kwenye Mchoro wa 2 [Mchoro wa kiratibu wa mipako ya utupu ya boriti ya molekuli ya kifaa cha epitaksi].Tanuru ya ndege ina vifaa vya chanzo cha boriti ya Masi.Inapokanzwa kwa joto fulani chini ya utupu wa juu-juu, vipengele katika tanuru hutolewa kwenye substrate katika mkondo wa molekuli unaofanana na boriti.Sehemu ndogo huwashwa kwa joto fulani, molekuli zilizowekwa kwenye substrate zinaweza kuhama, na fuwele hupandwa kwa utaratibu wa kimiani ya kioo ya substrate.Epitaksi ya boriti ya molekuli inaweza kutumika
pata filamu ya fuwele ya kiwanja cha hali ya juu yenye uwiano unaohitajika wa stoichiometric.Filamu inakua polepole zaidi Kasi inaweza kudhibitiwa kwa safu 1/sekunde.Kwa kudhibiti baffle, filamu moja ya kioo yenye muundo na muundo unaohitajika inaweza kufanywa kwa usahihi.Epitaksi ya boriti ya molekuli hutumiwa sana kutengeneza vifaa mbalimbali vilivyounganishwa vya macho na filamu mbalimbali za muundo wa superlattice.
Muda wa kutuma: Jul-31-2021